早稲田大学-NIMS連携大学院　教授

1989年　旧科学技術庁　金属材料技術研究所　研究員

2008年　早稲田大学-NIMS連係大学院　客員教授

2011年～現在　独立行政法人　物質・材料研究機構　

MANAナノエレクトロニクス材料ユニット　ユニット長　

略歴

職歴

学外

受賞

研究内容

　持続可能な社会を実現するためには、低消費電力で駆動できるナノデバイスの開発とその実現が期待されています。集積回路を代表とするナノデバイスは現在の情報化社会を支える基幹デバイスです。集積回路はこれまで、微細化、多様化を進め、最近では、FinFETに代表される三次元構造をとるようになってきました。それと同時にナノスケールの機能性材料である高誘電体ゲート酸化膜（high-k）やメタルゲート材料などの新材料開発とその界面制御が必要なっています。ここでは多様な材料を系統的に探索する手法としてコンビナトリアル手法を使い、次世代ナノエレクトニクスに必要な新材料の開発とそのデバイス化を進めています。

1983年　早稲田大学理工学部電子通信学科卒業

1987年　同大学大学院理工学研究科電気工学専攻博士後期課程中退。

1989年　工学博士

ワシントン大学　材料工学科　客員教授

第63回日本金属学会功績賞　（2007年）

第53回電気化学技術奨励賞（オーム技術賞）（2007年）